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PLR3000閉環(huán)位置反饋控制光纖激光尺可作為激光干涉儀進行測量,也可用于閉環(huán)位置反饋控制。10nm高分辨率(支持外部拓展),正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號雙輸出,適配各類控制器。
激光編碼器,又稱光纖激光尺、激光干涉尺,它是利用激光干涉的原理對位移進行高精度測量輸出,完成實時控制的閉環(huán)應(yīng)用。
PLR3000高精度激光尺(光纖激光尺)納米級精度與靈活適配性的特點,讓大尺寸、長行程精密測量一次測量完成。解決航空航天、半導(dǎo)體制造、大型精密加工等B端場景中,“測量量程不足被迫分段檢測”“長行程測量誤差累積”“產(chǎn)能擴張后設(shè)備無法適配新需求”的問題。
PLR3000系列0.2ppm高精度光纖激光尺是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進位置檢測設(shè)備,10nm分辨率+0.2ppm線性精度,滿足納米級測量需求,是特別為超高精度位置反饋應(yīng)用而設(shè)計,在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
PLR3000系列系統(tǒng)級精度激光尺以激光干涉核心技術(shù)+硬核數(shù)據(jù)支撐,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
PLR3000多軸測量光纖激光尺基于激光干涉測量原理,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域,提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
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