PLR3000多自由度測量光纖激光尺支持單軸至多軸測量,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。相比傳統鋼帶尺或玻璃光柵,PLR3000光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率。
PLR3000位置檢測光纖激光尺設備是新一代高精度位置檢測設備,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。
PLR3000系列多規格光纖激光尺可根據用戶需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實現多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置,用戶可根據實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內置干涉鏡組的測量探頭,滿足用戶各種復雜場景應用。
PLR3000高分辨率光纖激光尺高分辨率數字正交信號輸出,分辨率達10nm(可外部拓展)。基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000系列高穩定光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000系列0.02ppm穩頻精度光纖激光尺突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。
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