激光編碼器，又稱光纖激光尺、激光干涉尺，它是利用激光干涉的原理對(duì)位移進(jìn)行高精度測(cè)量輸出，完成實(shí)時(shí)控制的閉環(huán)應(yīng)用。是一種基于激光干涉測(cè)量原理的高精度、高靈敏度、高速度的位置檢測(cè)設(shè)備，主要功能是位移高精度測(cè)量，閉環(huán)控制。廣泛應(yīng)用在超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域中。

一、產(chǎn)品特點(diǎn)

1.激光編碼器測(cè)量精度可達(dá)0.2-0.5ppm，測(cè)量距離100mm，測(cè)量精度高于0.5μm，實(shí)現(xiàn)細(xì)分精度小于1nm；

2.激光干涉測(cè)量速度快，可達(dá)2000mm/s以上；

3.測(cè)量量程可以達(dá)到4m以上，可定制40米；

4.安裝簡(jiǎn)便，對(duì)安裝面無特殊要求，角錐與激光探頭相對(duì)在一條直線上即可，直線度要求不高，因?yàn)榧す馓筋^有調(diào)整裝置，可以很方便的將激光光束對(duì)準(zhǔn)；

5.受環(huán)境影響小，其光波長的熱膨脹很小，再疊加環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)的補(bǔ)償，相當(dāng)于一個(gè)0膨脹系數(shù)的光柵尺；

6.輸出接口多樣，主機(jī)輸出接口包含USB接口和位置輸出接口，位置輸出接口有數(shù)字正交編碼輸出(TIA/EIA-422)、正余弦信號(hào)輸出(1Vpp)、USB-SDK開發(fā)包。

二、解決4大核心問題

三、應(yīng)用場(chǎng)合

1.高精度數(shù)控機(jī)床的位置反饋

如加工航空航天設(shè)備的高精度大型機(jī)床，此時(shí)就需要激光閉環(huán)來滿足需求。

2.高精度大型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

大型工件測(cè)量往往對(duì)精度和量程要求很高，同時(shí)還對(duì)溫度非常敏感，光纖激光干涉尺的環(huán)境補(bǔ)償組件可以度溫度進(jìn)行補(bǔ)償，使之更合適高精度大型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)使用。

3.光刻機(jī)

光纖激光尺的高精度、高抗震性能，非常適合光刻機(jī)使用。

4.普通光柵尺刻劃、檢驗(yàn)

由于光纖激光尺的測(cè)量精度高出普通光柵尺一個(gè)數(shù)量級(jí)，故可以使用光纖激光尺作為“母光柵"進(jìn)行光柵尺的刻劃、檢驗(yàn)工作。

5.高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

光纖激光尺安裝在高精度直線電機(jī)上，做高精度直線點(diǎn)擊的反饋，可直接提升運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的控制精度。

6.其他檢驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備

配合高精度圓光柵，可以做絲杠導(dǎo)程誤差的檢測(cè)。雙軸測(cè)量可減小阿貝誤差，降低機(jī)械成本。

四、定制化支持

按需提供量程拓展、線纜定制、探頭配置等個(gè)性化方案，精準(zhǔn)匹配客戶具體場(chǎng)景（如8m長行程機(jī)床、5m航空部件檢測(cè)）。

如需了解參數(shù)細(xì)節(jié)、合作政策或獲取樣品測(cè)試，歡迎聯(lián)系中圖儀器！

注：產(chǎn)品參數(shù)隨技術(shù)迭代優(yōu)化，相關(guān)內(nèi)容可能實(shí)時(shí)更新，恕不另行通知。