中圖儀器PLR3000系列0.2ppm高精度光纖激光尺是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進(jìn)位置檢測(cè)設(shè)備，10nm分辨率+0.2ppm線性精度，滿足納米級(jí)測(cè)量需求，是特別為超高精度位置反饋應(yīng)用而設(shè)計(jì)，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

一、產(chǎn)品功能

1. 納米級(jí)信號(hào)輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號(hào)雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環(huán)境自適應(yīng)：一體化環(huán)境氣象站，實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境參數(shù)對(duì)測(cè)量的影響，數(shù)據(jù)長(zhǎng)期可靠；

3. 靈活安裝設(shè)計(jì)：激光主機(jī)與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠(yuǎn)離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測(cè)量支持：?jiǎn)屋S/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量；

5. 雙重使用模式：既可作為激光干涉儀獨(dú)立測(cè)量，也可接入系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制；

二、

功能特點(diǎn)

1.高分辨率數(shù)字正交信號(hào)輸出，分辨率達(dá)10nm（可外部拓展）。  

2.高測(cè)量精度，線性測(cè)量精度達(dá)0.2~0.5ppm。

3.高穩(wěn)頻精度，可達(dá)0.02~0.05ppm。

4.測(cè)量范圍大，最大量程可達(dá)4m（可拓展）。

5.激光發(fā)射裝置與干涉探頭分離，通過(guò)3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機(jī)遠(yuǎn)離被測(cè)量設(shè)備，便于安裝，同時(shí)還可避免主機(jī)散熱對(duì)測(cè)量通路的影響。

6.輸出正交數(shù)字信號(hào)或1Vpp正余弦信號(hào)，可以適用于不同的控制器。

7.體積小巧，適合狹小空間安裝，可最大限度降低阿貝誤差。 

8.即可作為激光干涉儀進(jìn)行測(cè)量，也可用于閉環(huán)位置反饋控制。

9.多通道輸出，可輕松實(shí)現(xiàn)多軸同時(shí)測(cè)量及多自由度測(cè)量。

10.環(huán)境補(bǔ)償功能，一體化的環(huán)境氣象站自動(dòng)監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù)，實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、空氣壓力和濕度對(duì)激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。

三、產(chǎn)品應(yīng)用

1.半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓定位、精密工件臺(tái)反饋控制。

2.航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測(cè)、高精度裝配校準(zhǔn)。

3.精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋、微機(jī)械元件測(cè)量。

4.科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制。

相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，PLR3000系列0.2ppm高精度光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)，可根據(jù)用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實(shí)現(xiàn)多軸測(cè)量或多自由度測(cè)量。同時(shí)提供多種干涉探頭配置，用戶可根據(jù)實(shí)際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無(wú)內(nèi)置干涉鏡組的測(cè)量探頭，滿足用戶各種復(fù)雜場(chǎng)景應(yīng)用。

產(chǎn)品參數(shù)將根據(jù)技術(shù)迭代持續(xù)優(yōu)化，故本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。