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VT6000材料3D形貌共聚焦測量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖國產(chǎn)臺階儀品牌NS系列主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

CEM3000系列毫米級超大景深臺式掃描電鏡是用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。其空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

在不改變整機(jī)外觀尺寸的情況下，中圖儀器CEM3000大樣品倉型臺式掃描電鏡拓展了樣品倉尺寸，從而可對大尺寸樣品或多個常規(guī)尺寸樣品進(jìn)行分析。它無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。

SuperViewW白光干涉表面形貌3D測量儀利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器，主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。

VT6000非接觸式3D共聚焦顯微系統(tǒng)以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。