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中圖3D共聚焦顯微鏡VT6000是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器VT6000系列共聚焦光學(xué)顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器VT6000共聚焦高分辨率顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，共聚焦工具顯微鏡測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

中圖儀器VT6000共聚焦3D顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。主要采用3D捕獲的成像技術(shù)，它通過數(shù)碼相機針孔的高強度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力。所展現(xiàn)的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡，擅長微納級粗糙輪廓的檢測。

共焦顯微鏡系統(tǒng)所展現(xiàn)的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。VT6000共聚焦光學(xué)測量顯微鏡技術(shù)以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。