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中圖儀器材料幾何輪廓共聚焦顯微鏡技術（VT6000系列）聚焦幾何輪廓測量核心需求，高度測量精度≤(0.2+L/100)μm，重復性≤12nm，可精準捕捉臺階、曲率、平面度等核心幾何參數；寬度測量精度±2%，重復性≤40nm，清晰還原微小輪廓的尺寸細節。

中圖儀器VT6000材料共聚焦顯微鏡系統主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，如材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數的測量，具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務。廣泛用于半導體制造、3C電子、航空航天等超精密加工領域中。

中圖儀器VT6000系列微納材料共聚焦顯微鏡在半導體、3C電子、航空航天等超精密加工領域，3D+2D全維測量各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，一臺設備滿足多維度檢測需求。

VT6000粗糙度輪廓度共聚焦顯微鏡具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務。主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，賦能超精密加工行業高效管控，如半導體制造、3C電子、航空航天等超精密加工領域。

VT6000微米級粗糙度共聚焦顯微鏡結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統，主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高。

VT6000中圖儀器共聚焦顯微鏡具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實現更準確的操作。