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PLR3000精密激光干涉尺基于激光干涉測(cè)量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000光纖激光干涉測(cè)量尺0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測(cè)量,分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000光纖激光量測(cè)尺0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測(cè)量,分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000多自由度光纖激光尺測(cè)量?jī)x環(huán)境補(bǔ)償功能,一體化的環(huán)境氣象站自動(dòng)監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù),實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、空氣壓力和濕度對(duì)激光在空氣中空氣折射率的影響,保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。
PLR3000激光干涉尺產(chǎn)品0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測(cè)量,分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000光纖激光尺產(chǎn)品是0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測(cè)量,分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
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