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SuperViewW1中圖國產白光干涉儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高；隔振系統能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用，獲得高測量重復性。

VT6000共聚焦測量顯微鏡以針孔共聚焦技術為原理，結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測，對大坡度的產品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。

中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡品牌是一款在材料領域中，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學檢測儀器。采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格，實現了所見即所得的快速檢測效果。

中圖儀器VT6000系列激光共聚焦掃描顯微鏡配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現。儀器采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。

中圖儀器VT6000激光共聚焦光學顯微鏡采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格，實現了所見即所得的快速檢測效果。主要用于對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

VT6000轉盤共聚焦掃描顯微鏡儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動，實現了“拎著走”的便攜式設計；采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優化，在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。