CEM3000系列國產材料科學臺式掃描電鏡能夠提供多種成像參數供用戶選擇,滿足專業用戶的調節需求;搭配有多種探頭,能夠對樣品進行多種手段的分析。
?中圖儀器納米級表面形貌臺階儀單拱龍門式設計,結構穩定性好,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。
中圖白光共聚焦顯微鏡以白光LED為光源,主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它以轉盤共聚焦光學系統為基礎,結合高穩定性結構設計和3D重建算法,共同組成測量系統,保證儀器的高測量精度。
中圖儀器CEM3000系列多探頭SEM掃描電鏡采用鎢燈絲電子槍,其電子槍發射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高,使得鎢燈絲臺式掃描電鏡能夠在較短的時間內達到穩定的工作狀態并獲得清晰的圖像,從而提高了檢測效率,節省了時間成本。
SuperViewW高精度3D白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
不同于立式電鏡,CEM3000系列緊湊型臺式掃描電鏡設備無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。
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