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SuperViewW非接觸式3D白光干涉儀基于白光干涉原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

NS200接觸探針式微納米測量臺階儀采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。它利用光學干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。

VT6000共聚焦三維光學輪廓顯微鏡是基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析。

SuperViewW白光干涉3D材料表面輪廓儀采用白光干涉技術，結合具有抗噪性能的3D重建算法，真實還原樣品的每一個細節。可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

VT6000三維形貌共聚焦材料測量顯微鏡單區域、多區域、拼接、自動測量等多種測量模式可選擇，適應多種現場應用環境；Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能，雙重保護。

NS系列探針式高重復性臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。