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中圖儀器白光干涉儀專用于非接觸式快速測量，具有三維形貌測量和圖像分析的功能。適合檢測的樣品按領域分為微納材料、超精密加工（機械、光學）、半導體封裝、消費電子類這四個領域。

SuperView W3白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、工科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，

SuperView WX 100白光干涉測頭是一款非接觸式精密光學測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學干涉系統和Z向掃描系統組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構的平臺上，在產線上對器件表面進行自動化形式的測量，直接獲取與表面質量相關的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數。