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國內自研高分辨率掃描電鏡

簡要描述:國內自研高分辨率掃描電鏡CEM3000系列采用鎢燈絲電子槍,其電子槍發射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高,使得鎢燈絲臺式掃描電鏡能夠在較短的時間內達到穩定的工作狀態并獲得清晰的圖像,從而提高了檢測效率。

  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-04-21
  • 訪  問  量:387

詳細介紹

品牌中圖儀器產地國產
加工定制

國內自研高分辨率掃描電鏡CEM3000系列采用鎢燈絲電子槍,其電子槍發射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高,使得鎢燈絲臺式掃描電鏡能夠在較短的時間內達到穩定的工作狀態并獲得清晰的圖像,從而提高了檢測效率,節省了時間成本,特別適用于需要快速獲取結果的應用場景,如工業生產中的質量控制、快速篩選樣品等。

國內自研高分辨率掃描電鏡

國內自研高分辨率掃描電鏡CEM3000系列在工業領域展現出廣泛的應用價值,標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統,能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現微觀的形貌和元素分析等。


產品功能

1)臺式電鏡緊湊的外型,CEM3000系列掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求,輕松移機,一臺機器多處開花;

2)高分辨率,能夠對微尺寸特征進行觀測分析,滿足用戶的觀測需求;

3)快速抽放氣,憑借真空系統設計,該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間;

4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動調節功能,無需過多人工操作,就可得到高質量拍攝圖片;

5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;

6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術,基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;

7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測;

8)能夠提供多種成像參數供用戶選擇,滿足專業用戶的調節需求;

9)搭配有多種探頭,能夠對樣品進行多種手段的分析。


機型選擇

CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。

CEM3000B(抗振型):專為振動環境設計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩定。

國內自研高分辨率掃描電鏡


應用領域

該電鏡外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設計,避免使用環境造成的影響,拓寬了應用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節功能,能夠對不同類型的樣品進行觀測,具有高空間分辨率。

用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進行分析。

國內自研高分辨率掃描電鏡


不同于立式電鏡,CEM3000系列無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術,展現出色的性能。


應用案例

金屬材料分析

國內自研高分辨率掃描電鏡

花粉微觀形態

國內自研高分辨率掃描電鏡


部分技術指標

型號

CEM3000A(大樣品倉型)

電子槍

燈絲

鎢燈絲

分辨率

優于4nm(SE),優于8nm(BSE)  @20kV

加速電壓

1 ~ 20kV

放大倍數

電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)

探測器

二次電子

標配

背散射電子

標配(四象限高分辨探頭)

能譜儀

選配

自動化軟件

標配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強

選配:顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建

真空系統

真空度

高真空:優于9×10-3Pa

低真空:5 ~ 100 Pa(選配)

抽真空時間

低真空模式 < 1.5min

高真空模式 < 3min

樣品臺

自動軸

XYT

手動軸

RZ

行程范圍

X: 50mm

Y: 50mm

R: 0°~360°(手動旋轉、電子束旋轉)

T: -22.5°~ +22.5°

Z: 45mm


樣品尺寸

70mm×70mm(水平)

45mm(高度)

倉內相機

導航相機

標配高分辨彩色相機

側視相機

標配高分辨紅外相機

操作系統

圖片尺寸

Windows10 (64bit)

640×480

1280×960

2560×1920

5120×3840

10240×7680

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

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