中圖儀器激光平面干涉儀采用氦氖激光器作為光源，精度高，抗干擾強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測(cè)量大距離用。

系統(tǒng)組件

1、激光主機(jī)

精準(zhǔn)——激光頻率穩(wěn)定度高，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。

中圖儀器激光平面干涉儀主機(jī)由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口，可與計(jì)算機(jī)高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號(hào)輸入和正交信號(hào)輸出，以及其它擴(kuò)展應(yīng)用。

2、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元

可靠——對(duì)空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進(jìn)行自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償。

激光干涉儀是以激光波長為載體，測(cè)量過程中環(huán)境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會(huì)影響激光波長。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可實(shí)時(shí)檢測(cè)環(huán)境條件的變化，同事進(jìn)行激光波長補(bǔ)償。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可連接三個(gè)材料溫度探頭，監(jiān)測(cè)被測(cè)對(duì)象其材料的溫度變化，同事進(jìn)行材料的熱膨脹補(bǔ)償。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元采用低功耗設(shè)計(jì)，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現(xiàn)場(chǎng)使用，EC20環(huán)境補(bǔ)償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標(biāo)準(zhǔn)線長5m，亦可定制線長。

3、三腳架及便攜箱

其他組件

1、光學(xué)鏡組

（1）線性鏡組

應(yīng)用于機(jī)器軸的定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等；也可用于機(jī)器軸的動(dòng)態(tài)測(cè)量分析。

（2）角度鏡組

應(yīng)用于機(jī)器軸的角擺測(cè)量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量；亦可以用于轉(zhuǎn)軸的角速度和角加速度的動(dòng)態(tài)測(cè)量分析。

（3）直線度鏡組

應(yīng)用于導(dǎo)軌或機(jī)器軸的直線度測(cè)量，包含水平方向和垂直方向的直線度。

（4）平面度鏡組

按照國標(biāo)方式進(jìn)行平面度的測(cè)量和分析，其平面度羈絆長度可調(diào)。

（5）線性附件-輕型線性鏡組

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡重量僅為8g，可以直接在被測(cè)物體上，有效降低線性反射鏡過重帶來的影響。主要應(yīng)用于先行反射鏡的重量可能影響到被測(cè)軸系的機(jī)械性能或精度；線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場(chǎng)合；負(fù)載敏感的動(dòng)態(tài)測(cè)量。

（6）大角錐反射鏡

應(yīng)用于機(jī)器Z軸方向的直線度測(cè)量或垂直度測(cè)量，起反射光束的作用。

（7）垂直度鏡組

應(yīng)用于兩條相互垂直的機(jī)器軸的垂直度測(cè)量場(chǎng)合。

2、其他附件

（1）線性附件-可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡

能把水平射出的激光俯仰偏轉(zhuǎn)25°以上，結(jié)合線性鏡組可用于傾斜機(jī)床、三坐標(biāo)對(duì)角線的測(cè)量。

（2）磁性表座

科隙蛛在鋼鐵表面，通過轉(zhuǎn)動(dòng)手柄，來轉(zhuǎn)動(dòng)里面的磁鐵，特別適用于機(jī)床和導(dǎo)軌上面的安裝。配合安裝柱使用，可將安裝柱鎖緊在磁性表座上。

（3）直線度基板

用于機(jī)器Z軸的垂直度測(cè)量，需配合磕掉轉(zhuǎn)向鏡和大角錐反射鏡使用。

（4）輔助安裝塊

用于鏡組不能直接安裝的場(chǎng)合。配合磁性表座使用；也可以直接結(jié)合安裝柱使用。

（5）垂直度安裝附件

在測(cè)量機(jī)器Z軸垂直度時(shí)，用于安裝90°轉(zhuǎn)向鏡。

（6）夾緊孔座

用于鏡組的安裝和夾持，可緊固各鏡組在安裝柱上。

（7）90°轉(zhuǎn)向鏡

應(yīng)用于機(jī)器Z軸方向的直線度測(cè)量或垂直度測(cè)量，起偏轉(zhuǎn)光束的作用。

（8）安裝柱

主要用于夾緊孔座的安裝定位，可鎖在磁性表座或輔助安裝塊上。安裝柱可以相互對(duì)接延長，以便增加夾緊孔座的可調(diào)范圍。

中圖激光干涉儀測(cè)量分辨率0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。