中圖儀器一直以實現高精密儀器自主化為己任，決心自主研制國產白光干涉儀。憑借十多年在幾何量測量領域的潛心研究，中圖儀器設計制造出了Super View系列白光干涉儀國內品牌，一鍵測量零件的粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積等表面三維形貌參數一網打盡。

產品參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

Super View白光干涉儀采用的測量方式是非接觸無損測量方式，避免了對被測物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統方式無法檢測的表面形態測量和分析。集合了自身白光干涉三維重建技術和微納米顯微測量三維軟件，以及采用了集合相移法PSI的高精度和垂直法VSI大范圍兩大優點的擴展型相移算法EPSI，分辨率0.1μm，重復性0.1%，比肩進口品牌，讓輪廓測量價格實惠。

主要組成部件

產品特點

1.參數測量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積，一網打盡；

2.環境噪聲檢測：實時監測，納米波動，也無可藏匿；

3.雙重防撞保護：軟件ZSTTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無恙；

4.自動拼接：3軸光柵閉環反饋，讓3D拼接“天衣無縫"；

5.雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動"。

在對精密工件表面質量要求*的如納米材料、航空航天、半導體等領域中，現有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點，而單一的光學非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量，只有白光干涉非接觸式輪廓測量儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量，自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。

性能特征

1、一體化操作的測量分析軟件

測量數據自動統計，可視化窗口，結合自定義分析模板的自動化測量功能，實現了快速批量測量的功能，自動完成多區域的測量與分析過程。

2、高精度、高重復性

3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統，保證了測量精度和測量重復性。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產品，也守護每一分價值和信任。

應用領域

應用案例

Super View系列白光干涉儀國內品牌具有精度高、使用方便、功能強等優點，采用非接觸式傳感器掃描技術，用于對各種產品和部件的表面形貌特征進行測量和分析，它比傳統的探針式輪廓儀操作方便，測量精度*高。