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PLR3000系列系統(tǒng)級精度激光尺以激光干涉核心技術+硬核數(shù)據(jù)支撐，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域廣泛應用。

中圖儀器GTS坐標測量激光跟蹤儀以μm級精度+百米級測量范圍的核心優(yōu)勢，整合多元技術與智能方案，解決大尺寸工件測量精度不足、復雜特征檢測難、裝配效率低、多環(huán)境適配差等測量痛點。為超大型工件、工業(yè)母機、大型科學裝置等場景提供全域高精度測量解決方案。

PLR3000多軸測量光纖激光尺基于激光干涉測量原理，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域，提供精準、可靠的位置反饋與控制。

GTS空間位置坐標激光跟蹤儀兼顧15μm+6μm/m空間精度與30-80米測量半徑，輕松覆蓋大型、超大型工件全維度測量需求。

GTS系列機器人位姿準確度激光跟蹤測量儀是同時具高精度（μm級）、大工作空間（百米級）的高性能光電測量儀器。可以和多種形式的合作目標測頭配合使用，能夠解決大型、超大型工件和大型科學裝置、工業(yè)母機等全域高精度空間坐標和空間姿態(tài)的測量問題。

PLR3000非接觸高精度測量光纖激光尺用于對精度要求苛刻、環(huán)境復雜的場景。比傳統(tǒng)光柵精度高10倍，分辨率達原子層級（10nm=100個原子直徑！） PLR3000 系列光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證：用差分干涉（DI）探頭對高精度納米位移臺進行閉環(huán)控制，在10mm行程內(nèi)任意位置實現(xiàn)納米級位置控制精度。