激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展而來的一種基于外差技術的測量儀器，它克服了單頻激光干涉儀易受環境影響的弱點，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。由于這一特點，可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定，既可以對幾十米的大量程進行測量，也可以對手表零件等微小運動進行測量，既可以對幾何量如長度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。