要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據，需要使用激光測量系統的以下組件，主要有：XL 激光頭、三腳架和云臺、XC 環境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。

　　機床激光干涉儀的信號時交流信號，因而對于激光干涉儀來說，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。該產品可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。

　　如果測量光路長度改變（角E反射鏡C移動），干涉光束的相對相位將改變，由此產生的相長干涉和相消干涉的循環將導致疊加光束強度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動316nm，就會出現一個光強變化循環（明—暗—明）通過計算這些循環來測量移動。通過在這些循環之間進行相位細分，實現更高分辨率（1nm）的測量。

　　機床激光干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。

　　在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有*的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。